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壓電脈搏傳感器(脈動(dòng)壓力傳感器工作原理)

2022-06-10 22:17:09 常識(shí)百科來源:
導(dǎo)讀想必現(xiàn)在有很多小伙伴對于脈動(dòng)壓力傳感器工作原理方面的知識(shí)都比較想要了解,那么今天小好小編就為大家收集了一些關(guān)于脈動(dòng)壓力傳感器工作...

想必現(xiàn)在有很多小伙伴對于脈動(dòng)壓力傳感器工作原理方面的知識(shí)都比較想要了解,那么今天小好小編就為大家收集了一些關(guān)于脈動(dòng)壓力傳感器工作原理方面的知識(shí)分享給大家,希望大家會(huì)喜歡哦。

壓力脈動(dòng)信號(hào)的采集任務(wù)是由感受壓力并轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)輸出的傳感器完成的。適合用于采集壓力脈動(dòng)信號(hào)的兩種傳感器:應(yīng)變式壓為傳感器和壓阻式壓力傳感器。

應(yīng)變式壓力傳感器在膜片上粘貼有應(yīng)變片,四片應(yīng)變片可以將脈動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。

一種壓阻式壓力傳感器,通過有限元應(yīng)力分析求得靈敏度高、線性又好的雙島硅膜片結(jié)構(gòu);采用雙面對準(zhǔn)光刻工藝,各向異性腐蝕微機(jī)械加工制硅膜片等新技術(shù),制造出表現(xiàn)好的傳感器。

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