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導讀當前大家對于分辨率增強技術都是頗為感興趣的，大家都想要了解一下分辨率增強技術，那么小美也是在網絡上收集了一些關于分辨率增強技術的...
當前大家對于分辨率增強技術都是頗為感興趣的，大家都想要了解一下分辨率增強技術，那么小美也是在網絡上收集了一些關于分辨率增強技術的一些信息來分享給大家，希望能夠幫到大家哦。
1、分辨率增強及技術（Resolution Enhancement Technique, RET）實際上就是根據已有的掩膜版設計圖形，通過模擬計算確定最佳光照條件，以實現最大共同工藝窗口（Common Process Window）。
2、這部分工作一般是在新光刻工藝研發(fā)的早期進行。
本文到此結束，希望對大家有所幫助。
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