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目前大家應(yīng)該是對光刻機(jī)是誰發(fā)明的比較感興趣的,所以今天好房網(wǎng)小編CC就來為大家整理了一些關(guān)于光刻機(jī)是誰發(fā)明的方面的相關(guān)知識來分享給大家,希望大家會喜歡哦。
法國人Nicephore niepce。盡管光刻機(jī)發(fā)明的時(shí)間較早,但并沒有在各行業(yè)領(lǐng)域之中被使用,直到第2次世界大戰(zhàn)時(shí),該技術(shù)應(yīng)用于印刷電路板,所使用的材料和早期發(fā)明時(shí)使用的材料也已經(jīng)有了極大區(qū)別,在塑料板上通過銅線路制作,讓電路板得以普及,短期之內(nèi)就成為了眾多電子設(shè)備領(lǐng)域中關(guān)鍵材料之一。
光刻機(jī):光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動。
A手動:指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn),對準(zhǔn)精度可想而知不高了;
B半自動:指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;
C自動:指的是從基板的上載下載,曝光時(shí)長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機(jī)主要是滿足工廠對于處理量的需要。
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